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논문 표지
[학술논문]

INVAR 마스크 응용 반도체 기판 소재의 고체 UV 레이저 프로젝션 어블레이션

  • 영문제목 : DPSS UV Laser Projection Ablation of IC Substrates using an INVAR Mask
  • 발행기관 : 한국레이저가공학회
  • 저자명 : 손현기(Hyonkee Sohn),최한섭(Hanseop Choe),박종식(Jong-Sig Park)
  • 간행물 정보 : 『한국레이저가공학회지』15권 4호, 16~19쪽, 전체 4쪽
  • 주제분류 : 공학 > 기계공학
  • 파일형태 : PDF
  • 발행일자 : 2012.12.31
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Due to the fact that the dimensions of circuit lines of IC substrates have been forecast to reduce rapidly, engraving the circuit line patterns with laser has emerged as a promising alternative. To engrave circuit line patterns in an IC substrate, we used a projection ablation technique in which a metal (INVAR) mask and a DPSS UV laser instead of an excimer laser are used. Results showed that the circuit line patterns engraved in the IC substrate have a width of about 15μm and a depth of 13μm. This indicates that the projection ablation with a metal mask and a DPSS UV laser could feasibly replace the semi-additive process (SAP).

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